氪气是一种稀有气体，无色，无味，无毒，惰性，集中存在于大气中。在大气中占有1.1PPM，沸点在零下一百五十六摄氏度以下，不能燃烧，也不能助燃。能吸收X射线。其熔点在零下一百五十七摄氏度，具有高密度，低热导率，大透射率等特点。氪气在所有正常条件下都是化学惰性的。它不和其他元素和化合物而化合。
氪气的制法有1.空分法：从空气装置中提取氪，氙混合气，竞秀分离获得；2.从合成氨尾气中提取氪合成气提氩工艺流程副产，经精馏，洗涤，吸附等过程获得。
氪气的用途：
由于氪能够吸收X射线，用作X射线的遮光材料。在低温和射线辐射下能与氟形成二氟化氪，真空放点时发出黄绿色辉光，用作霓虹灯，也用作高效灯泡中的惰性保护气体。其存储，贮运装卸过程中应轻拿轻放，防止包装破损。正是基于这一特点，氪气作为电子特气家族的一员，在作为刻蚀气体贯穿整个芯片，刻蚀过程，起着清洁刻蚀表面杂质和保护电路不被氧化的作用。
氪气的纯度会影响到集成电路性能等关键指标，所以用于芯片制造的氪气对浓度要求极高，生产工艺难度大。随着芯片制程的微缩，半导体生产特气领域氪降低国产芯片制造成本，有助于提高国产芯片在全球芯片产业的竞争力。
在芯片制造过程中，不仅需要用到光刻机，硅片等核心设备货材料，还需要用到一种特殊气，业内称之为电子特气。电子特气广泛应用于半导体制造的各个工艺流程，参与几乎每一个环节，对整个芯片制造来说不可或缺，有半导体制造的“血液”之称。
